設備真空係統主要由真空室、泵係統和各控製閥及熱交換器組成。其中泵係統由機械泵、維持泵、羅茨泵、擴散泵等構成。閥門包括前級閥(碟閥)、旁路閥(碟閥)、維持泵閥(碟閥)和高閥(板閥)組成，各閥門均為氣動閥，由PLC控製氣動閥進行控製。加熱室主要由不鏽鋼加熱室殼體、不鏽鋼反射屏、加熱器、陶瓷絕緣件、水冷電極、爐床等組成。

　　真空釺焊爐的原理：

　　真空係統工作時，首一先啟動機械泵、維持泵和擴散泵（加熱），同時打開前級閥和維持泵閥，對擴散泵內進行抽真空。當真空度達到係統某一設定值時，羅茨泵啟動，同時旁路閥打開，前級閥關閉，此時對真空室進行抽低真空當擴散泵加熱至規定溫度並且真空度高於規定值時，高閥打開，旁路閥關閉，前級閥打開。此時對真空室抽高真空，達到工藝要求的真空度以後，方可進行熱處理工作。熱加工過程完成後，由熱交換器對真空室充入高純氮氣進行強製冷卻，完成整個工藝過程。